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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0440462 (1982-11-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 63 인용 특허 : 1 |
A silicon accelerometer employing the piezoresistive effect of single crystal silicon to measure the flexure of semiconductor beams supporting a semiconductor mass. In one embodiment a rectangular semiconductor center mass is supported at each corner by a semiconductor beam parallel to one side of t
1. An acceleration sensor comprising: a substantially planar semiconductor support frame; four flexible, elongate semiconductor support members each rigidly attached at a first end to said support frame, and disposed substantially perpendicular to each adjacent support member; a semiconductor d
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