최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0399290 (1982-07-19) |
우선권정보 | GB-0004340 (1982-02-15) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 57 인용 특허 : 6 |
Apparatus for detecting defects and dust on patterned surfaces, such as patterned wafers, or grooved video disks, utilizes a scanning laser that provides light scattered by defects and dust. The scattered light is detected substantially free of diffracted beams from the pattern by a mask having aper
In an apparatus of the type for optically detecting microscopic defects in a certain specularly reflecting surface of a given object, said surface having at least on a portion thereof a diffraction grating pattern or at least some elements of a diffraction grating pattern capable of diffracting said
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.