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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0729028 (1985-04-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 30 인용 특허 : 3 |
A long life high current density hollow cathode electron beam source for use in various E-beam apparatus which uses an ionizable gas within the hollow cathode. Bombardment of an electron emissive surface within the hollow cathode by energetic gas ions causes electrons to be emitted by secondary emis
In an electron beam apparatus, the improvement which comprises a hollow cathode structure comprising an outer enclosure, having at one end thereof a wall, said wall having an aperture therethrough for electron beam emission, a second wall at the opposite end of said enclosure, the enclosure and wall
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