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특허 상세정보

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Semiconductor wafer guides

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B65G-051/03   
미국특허분류(USC) 406/86
출원번호 US-0930012 (1986-11-05)
발명자 / 주소
  • Leonov Mark (Santa Clara CA)
출원인 / 주소
  • Intel Corporation (Santa Clara CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 20  인용 특허 : 2
초록
▼

A device for positioning and proving movement to a semiconductor wafer. A pair of elongated members are attached to either side of a plate which is used during the processing of semiconductor wafers. The members are angled away from the center of the plate at the end which receives the wafer. Angled openings in the members are connected to a gas source which shoots a gas, such as air, from the openings to a assist in propelling the wafer and to prevent the wafer from contacting the member itself. The openings may also be used to introduce different atmos...

대표
청구항
▼

A semiconductor wafer guide comprising: a first set of elongated side members extending along a first flat fluid bearing surface, said first set attached to said first surface and disposed parallel to one another and separated by a first distance (d1) where d1 is greater than a width of a semiconductor wafer; a second set of elongated side members extending along a second flat fluid bearing surface, said second set attached to said second surface and disposed parallel to one another and separated by a second distance d2, where d2 is greater than said wid...

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. Loveless W. L. (Saratoga CA) Trott Richard J. (Los Gatos CA) Heath Robert H. (Campbell CA) Glick William L. (San Jose CA), Automatic wafer processing system and method.
  2. Volat ; Jean-Pierre ; Pichon ; Jean-Louis E., Conveyor device for letters, cards or other thin article.

이 특허를 인용한 특허 (20)

  1. Himmelmann, Richard A., Air cushion aircraft cargo loading systems and methods.
  2. Himmelmann, Richard A., Air cushion aircraft cargo loading systems and shuttle drive unit.
  3. Himmelmann, Richard A., Air cushion aircraft cargo loading systems and wireless charging unit.
  4. Himmelmann, Richard, Air cushion aircraft cargo loading systems and wireless communication unit.
  5. Himmelmann, Richard A., Air cushion aircraft cargo loading systems and wireless communication unit.
  6. Himmelmann, Richard A., Bushing cleaner systems and methods.
  7. Himmelmann, Richard, Compact centrifugal air blowers for air cushion supported cargo loading platform.
  8. Himmelmann, Richard, Compact centrifugal air blowers for air cushion supported cargo loading platform.
  9. Himmelmann, Richard A., Multi-zone load leveling system for air cushion supported aircraft cargo loading robot.
  10. Himmelmann, Richard A., Noise reduction barrier for air cushion supported aircraft cargo loading robot.
  11. Himmelmann, Richard A., Noise reduction barrier for air cushion supported aircraft cargo loading robot.
  12. Himmelmann, Richard, Pressure compensating air curtain for air cushion supported cargo loading platform.
  13. Himmelmann, Richard, Pressure compensating air curtain for air cushion supported cargo loading platform.
  14. Himmelmann, Richard, Pressure compensating air curtain for air cushion supported cargo loading platform.
  15. Himmelmann, Richard A., Self propelled air cushion supported aircraft cargo loading systems and methods.
  16. Himmelmann, Richard A.; Tongue, Stephen E., Slide bushing supported aircraft cargo loading systems and methods.
  17. Frigoli, Fabiano; Ballotta, Giuseppe; Greppi, Massimo; Falorni, Luca Giuseppe; Aranzulla, Paolo, Vibrating device for positioning a miniaturized piece in a testing accommodation, and positioning method.
  18. Frigoli, Fabiano; Ballotta, Giuseppe; Greppi, Massimo; Falorni, Luca Giuseppe; Aranzulla, Paolo, Vibrating device for positioning a miniaturized piece in a testing accommodation, and positioning method.
  19. Himmelmann, Richard A., Wedge lift jacking system for crawler supported aircraft loading robot.
  20. Hayashi, Takayuki; Yamashita, Seiichiro, Workpiece conveyor and method of conveying workpiece.

IPC 상위 출원인