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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0930012 (1986-11-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 20 인용 특허 : 2 |
A device for positioning and proving movement to a semiconductor wafer. A pair of elongated members are attached to either side of a plate which is used during the processing of semiconductor wafers. The members are angled away from the center of the plate at the end which receives the wafer. Angled
A semiconductor wafer guide comprising: a first set of elongated side members extending along a first flat fluid bearing surface, said first set attached to said first surface and disposed parallel to one another and separated by a first distance (d1) where d1 is greater than a width of a semiconduc
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