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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0889443 (1986-07-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 15 |
An evacuable wafer processing machine includes a load-lock station, a wafer transfer station separated from the load-lock station by means of a gate-valve and a wafer coating station. Wafers contained within an evacuated wafer box are loaded into the load-lock station. The load-lock station is then
In a method for storage and transport of wafers, the steps of: evacuating a transportable housing containing an array of wafers and its surrounds to subatmospheric pressure; placing and sealing a closure over an access port in the evacuated housing at subatmospheric pressure for closing the housing;
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