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특허 상세정보

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Wafer processing machine with evacuated wafer transporting and storage system

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) C23C-014/00   
미국특허분류(USC) 204/298 ; 118/50 ; 118/501 ; 118/500
출원번호 US-0889443 (1986-07-23)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 21  인용 특허 : 15
초록
▼

An evacuable wafer processing machine includes a load-lock station, a wafer transfer station separated from the load-lock station by means of a gate-valve and a wafer coating station. Wafers contained within an evacuated wafer box are loaded into the load-lock station. The load-lock station is then closed and evacuated. A pair of pneumatically-operated plungers operable within the load-lock station, pick-up and remove the covers from the wafer box. The gate-valve is opened and the box of wafers is transferred into the wafer transfer station. Within the w...

대표
청구항
▼

In a method for storage and transport of wafers, the steps of: evacuating a transportable housing containing an array of wafers and its surrounds to subatmospheric pressure; placing and sealing a closure over an access port in the evacuated housing at subatmospheric pressure for closing the housing; and raising the pressure of the surrounds of the closed and sealed housing to atmospheric pressure relative to the subatmospheric pressure on the interior of said housing to cause said closure to be urged into gaseous sealing engagement with the evacuated hou...

이 특허에 인용된 특허 (15)

  1. Richards Edmond A. (Marlton NJ). Apparatus for conveying a semiconductor wafer. USP1986044584045.
  2. Gallego JosM. (Ormskirk GB2). Apparatus for the deposition of multi-layer coatings. USP1986064592306.
  3. Hajj John G. (Amesbury MA). Automatically loadable multifaceted electrode with load lock mechanism. USP1985074526670.
  4. Boys Donald R. (Cupertino CA) Graves Walter E. (San Jose CA). Disk or wafer handling and coating system. USP1985024500407.
  5. Ackley James W. (Los Altos CA). Load lock pumping mechanism. USP1985084534314.
  6. Zajac John (San Jose CA). Load lock valve. USP1983124418646.
  7. Rubin Richard H. (West Paterson NJ) Hillman Gary (Livingston NJ). Processing apparatus and method. USP1986064592926.
  8. Gerlach Robert L. (Minnetonka MN) Seibel David D. (Lakeville MN) Miller Mark C. (Chanhassen MN). Sample transport system. USP1983114412771.
  9. Miller Mark C. (Chanhassen MN). Sample vessel. USP1985084532816.
  10. Aichert Hans (Hanau am Main DEX) Dietrich Walter (Hanau am Main DEX) Hauff Alfred (Bruchkobel DEX) Stephan Herbert (Bruchkobel DEX) Stark Friedrich (Langenselbold DEX). Vacuum coating apparatus having a plurality of lock chambers. USP1980014184448.
  11. Carter, Donald L.. Vacuum-to-vacuum entry system apparatus. USP1985104544317.
  12. Dimock Jack A. (Santa Barbara CA). Wafer processing machine. USP1985064523985.
  13. Dimock Jack A. (Santa Barbara CA) Clarke Peter J. (Santa Barbara CA). Wafer processing machine. USP1985064522697.
  14. Coad George L. (Lafayette CA) Shaw R. Howard (Palo Alto CA) Hutchinson Martin A. (Santa Clara CA). Wafer transfer system. USP1982014311427.
  15. Dorenbos Frederick William (El Cerrito CA). Workpiece handling system for vacuum processing. USP1977094047624.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 21

  1. Readinger, Eric Daniel; LaBere, Rikki Scott; Bresnahan, Richard Charles; Priddy, Scott Wayne. Bellows-free retractable vacuum deposition sources. USP20190210214806.
  2. Lee,Kuei Hung. End effector with tapered fingertips. USP2006037011484.
  3. Walde Michael (Rodenbach DEX) Zeidler Peter (Hanau DEX) Domroese Dirk (Bispingen-Behringen DEX). Installation for charging and discharging substrates out of a vacuum tank. USP1990034907526.
  4. Lazzari Jean-Pierre (Corenc FRX) Cortial Henri (Sassenage FRX). Installation for the storage and transfer of objects in a very clean atmosphere. USP1989074851018.
  5. Evers, Marinus Franciscus Johannes; Hompus, Michael Adrianus Theodorus. Lock for vacuum chamber. USP2003096615547.
  6. Awal Muhammad A. (Trenton NJ) Lee El Hang (East Brunswick NJ). Method for heteroepitaxial growth using multiple MBE chambers. USP1988114786616.
  7. Roland Bernard FR; Eric Chevalier FR. Mini-environment control system and method. USP2002076422823.
  8. Sullivan Harold W. (Dallas TX) McConnell Pat M. (Lucas TX). Robot slice aligning end effector. USP1991045004399.
  9. Hofmeister, Christopher; Caveney, Robert T.. Substrate processing apparatus. USP2014098827617.
  10. Hofmeister, Christopher; Caveney, Robert T.. Substrate processing apparatus. USP2014028651789.
  11. Hofmeister, Christopher; Caveney, Robert T.. Substrate processing apparatus. USP2017029570330.
  12. Hofmeister, Christopher; Caveney, Robert T.. Substrate processing apparatus. USP2013028371792.
  13. Hofmeister, Christopher; Caveney, Robert T.. Substrate processing apparatus. USP2013128602706.
  14. Oshima Zinichiro (Narashino JPX) Uchiyama Kiyoshi (Narashino JPX) Nanno Ikuo (Narashino JPX). Transferring apparatus operated in a vacuum chamber. USP1991034998859.
  15. Ramsay, Bruce Gordon. Vacuum chamber load lock structure and article transport mechanism. USP2009067541061.
  16. Ramsay, Bruce Gordon. Vacuum chamber load lock structure and article transport mechanism. USP2003086609877.
  17. Quillen Paul (Warsaw IN). Vacuum debubbler machine. USP1989094869198.
  18. Soraoka, Minoru; Yoshioka, Ken; Kawasaki, Yoshinao. Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same. USP2003026526330.
  19. Asano,Hiroshi. Wafer holding apparatus. USP2007037186297.
  20. Toshima Masato. Wafer transfer system. USP2001056224680.
  21. Toshima Masato. Wafer transfer system and method of using the same. USP1999055900105.

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