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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0825210 (1986-02-03) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 7 |
Apparatus for sputter coating a disc comprises an evacuable chamber with a disc entry and exit opening. A disc to be coated is supported at the center of the disc by support means and drive means move the support means along a disc path between a disc loading position outside the chamber and a disc
Apparatus for sputter coating a substrate in the form of a disc, comprising an evacuable chamber having a disc entry and an exit opening, support means for supporting said disc at the center thereof, drive means for driving said support means to move said disc along a disc path between a disc loadin
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