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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0034615 (1987-04-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 42 인용 특허 : 0 |
An improved radially designed gas manifold is disclosed for the precise mixing and admission of a plurality of gases into a processing chamber, and being characterized by rapid switching from one gas to another or from one set of gas mixture to another set of gas mixture, and yet occupying a minimum
A radial gas manifold comprising: (a) a body provided with a mixing channel therethrough; (b) a plurality of gas conduits formed in said body in parallel spaced relation to said mixing channel; (c) a radial passage connecting each of said plurality of gas conduits to said mixing channel; (d) a first
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