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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0919226 (1986-10-15) |
우선권정보 | JP-0164215 (1985-10-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 22 인용 특허 : 0 |
An apparatus for removing organic substances from a substrate, including ultraviolet lamps provided above a horizontal hot plate on which a substrate is placed; an ozone blow-off pipe which blows ozone downward, provided at a position appropriately distant from the surface of the hot plate on which
An apparatus for removing organic substances from a substrate, comprising a hot plate defining a support surface for receiving the substrate and heating that substrate to a desired temperature; ultraviolet lamps fixedly arranged above said hot plate and disposed in parallel with said surface of said
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