[특허]Apparatus for removing organic substance from substrate

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B08B-003/02 B08B-005/02
출원번호	US-0919226 (1986-10-15)
우선권정보	JP-0164215 (1985-10-28)
발명자 / 주소	Hayashi Noriyuki (Shiga JPX) Murayama Hiromi (Kyoto JPX) Ishino Yukihiko (Kyoto JPX)
출원인 / 주소	Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. (Kyoto JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 22 인용 특허 : 0

초록 ▼

An apparatus for removing organic substances from a substrate, including ultraviolet lamps provided above a horizontal hot plate on which a substrate is placed; an ozone blow-off pipe which blows ozone downward, provided at a position appropriately distant from the surface of the hot plate on which the substrate is placed, the ozone blow-off pipe being so arranged as to be reciprocated relative and parallel to the surface of the hot plate.

대표청구항 ▼

An apparatus for removing organic substances from a substrate, comprising a hot plate defining a support surface for receiving the substrate and heating that substrate to a desired temperature; ultraviolet lamps fixedly arranged above said hot plate and disposed in parallel with said surface of said hot plate; and an ozone blow-off pipe provided with downwardly directed toward said surface openings; said ozone blow-off pipe being reciprocatable relative to and parallel with said surface of said hot plate.

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