[특허]Method and apparatus for enlarging a charged particle beam

Method and apparatus for enlarging a charged particle beam 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G21K-001/08
출원번호	US-0033133 (1987-03-31)
발명자 / 주소	Stieber Volker (Walnut Creek CA) Krispel Franz (Walnut Creek CA)
출원인 / 주소	Siemens Medical Laboratories, Inc. (Walnut Creek CA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 0

초록 ▼

A method and an apparatus for irradiating a relatively large area with a charged particle beam. In the method, a pencil-like beam is generated and spread along a fan axis perpendicular to the beam axis. The fan axis is rotated around the beam axis so that finally a circular area is irradiated. The apparatus includes means for generating a pencil-like beam, a lens system for spreading the beam along the fan axis and means to rotate the fan axis around the beam axis. In a preferred embodiment, the beam is spread such that its transverse intensity distribution increases with increasing distance from the beam center so that the area swept by the beam is irradiated with an even intensity.

대표청구항 ▼

A method of irradiating a circular area with a charged particle beam, comprising the steps of: (a) generating a pencil-like charged particle beam having a cross section which is smaller than said circular area; (b) directing the charged particle beam along a beam axis; (c) spreading the charged particle beam along a fan axis perpendicular to the beam axis; and (d) rotating the fan axis around the beam axis with a predetermined frequency.

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