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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0817072 (1986-01-08) |
발명자 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 2 |
An apparatus wherein a beam of substantially coherent light passes through a window in a chamber and then through the chamber in a direction substantially parallel, and contiguous, to substrates in the chamber. The beam ionizes gases in a mixture in the chamber. The ionized gases combine to form a s
In a combination for providing for the direction of a substance to a surface of a planar substrate to affect the surface of the substrate, means for defining a chamber, means for holding the substrate in the chamber, means for directing a beam of energy along the substrate, the beam having propertie
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