[특허]Double wall fast cool-down furnace

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-016/00
출원번호	US-0001444 (1987-01-08)
발명자 / 주소	Waugh Arthur (Winchester MA)
출원인 / 주소	BTU Engineering Corporation (North Billerica MA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 0

초록 ▼

One fast cool-down furnace embodiment discloses a double wall in the interspace of which a cooling air stream is flowable to provide fast cool-down of a load of wafers. The double wall embodiment is retrofittable on existing diffusion furnaces, and includes a cylindrical member aligned in concentric relation with the diffusion tube by combination plenum defining and supporting manifolds. In a second embodiment, the fast cool-down furnace includes a reaction vessel and a heating core relatively movable relative to each other in such a way that in a fast cool-down condition the core and reaction vessel are spaced apart. Cooling tubes are embedded in the movable core. Fans or other aids to cooling are provided. Operation is either in a controlled cool-down mode or in a quick quench mode.

대표청구항 ▼

A fast cool-down furnace, comprising: a reaction vessel having an outer wall and defining an elongated reaction chamber having a length; means coupled to the reaction vessel for heating the reaction chamber; means coupled to the reaction vessel for injecting reactants in gas phase into the reaction chamber; means for providing an annular fluid flow passageway having an annular mouth and that is in concentric surrounding relation to and extends substantially along the length of the reaction chamber; means coupled to the annular fluid flow passageway for providing an annular duct in air-tight sealing relation to said mouth of said annular fluid flow passageway; and means coupled to said annular duct for moving an annular stream of fluid peripherally around the mouth and through the passageway for removing heat uniformly from around the reaction chamber.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
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