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Integrated semiconductor resistance temperature sensor and resistive heater 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-025/04
  • G01K-007/22
  • H01C-007/00
출원번호 US-0870914 (1986-06-05)
발명자 / 주소
  • Sittler Fred C. (Victoria MN) Bohara Robert C. (Eden Prairie MN)
출원인 / 주소
  • Rosemount, Inc. (Eden Prairie MN 02)
인용정보 피인용 횟수 : 37  인용 특허 : 13

초록 ▼

An integrated sensing device includes a resistance temperature sensor formed in a semiconductor substrate and a resistance heater which is formed on an insulating layer which covers the surface of the semiconductor substrate. The resistance heater has a low temperature coefficient of resistivity and

대표청구항 ▼

A sensor comprising: a semiconductor substrate; an electrical insulating layer covering a first surface of the substrate; a semiconductor resistance temperature sensor formed in the semiconductor substrate adjacent the first surface of the substrate; a film resistance heater having a low temperature

이 특허에 인용된 특허 (13)

  1. Forgue John R. (Waterbury CT) Goldberg Joshua I. (Woodbridge CT) Seide Leonard (Westport CT), Detecting ice forming weather conditions.
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  2. Bohrer Philip J. (Minneapolis MN), Flow sensor.
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  3. Higashi Robert E. (Minneapolis MN) Johnson Robert G. (Minneapolis MN) Bohrer Philip J. (Minneapolis MN), Flow sensor.
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  4. Stoltman Donald D. (Henrietta NY) Kabasin Daniel F. (Rochester NY) Field Martin J. (Churchville NY), Hot film sensor for air flow meter.
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  5. Bohrer, Philip J.; Higashi, Robert E.; Johnson, Robert G., Integral flow sensor and channel assembly.
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  6. Bernard Jean (St-Martin D\Heres FR) Frossati Giorgio (Grenoble Gare FR) Guernet Georges (Grenoble FR) Montier Michel (Meylan FR) Peccoud nee Toupillier Louise (Claix FR) Thoulouze Daniel (Echirolles , Measuring detector and a method of fabrication of said detector.
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  7. Abdelrahman Mona (Minnetonka MN) Fuchs Ralph W. (Cold Spring MN) Holman James O. (Minnetonka MN) Johnson Robert G. (Minnetonka MN) Scott M. Walter (Minnetonka MN), Ni-fe thin-film temperature sensor.
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  8. Frank ; Robert I. ; Salzer ; Thomas E., Platinum film resistor device.
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  9. Kirsch Thomas S. (Oxnard CA), Resistance temperature sensor.
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  10. Nakata Josuke (Itami JA), Semiconductor thermally sensitive switch structure.
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  11. Strobel Gerhard (Ehingen DEX), Tedding attachment for rotary harvesting mower.
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  12. Gruner Heiko (Gerlingen DEX), Temperature sensor for determining mass transfer rate and/or temperature rate of a flowing medium.
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  13. Sato, Kanemasa; Ueno, Sadayasu, Thermal air flow meter.
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이 특허를 인용한 특허 (37)

  1. Yoshikawa Minoru,JPX, Apparatus for monitoring ventilation of integrated circuits in electronic apparatus.
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  2. Saladin, Peter; Snider, James, Controlling of a power state under extreme temperatures.
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  3. Stormbom Lars (Vantaa FIX), Detector and method for observation of the presence of a liquid and/or of a change of phase in same.
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  4. Welch ; Jr. Ronald F., Device and method for controlling the temperature of a thin film resistive heater.
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  5. Aslam Dean M. ; Sahli Sondes, Electronic device and method of use thereof.
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  6. Olsen,Ronald F.; Breer,Marlin D., Flow restrictors for aircraft inlet acoustic treatments, and associated systems and methods.
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  7. Leung, Calvin; Le Neel, Olivier, Heater design for heat-trimmed thin film resistors.
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  8. DeFrietas, Dennis M.; Parsons, John Patrick; O'Flynn, Denis; Goedel, Jarodd, High temperature resistive temperature detector for exhaust gas temperature measurement.
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  9. Uselton, Robert B. Dutch; Douglas, Jonathan, Ice sensor for a heat pump.
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  10. Uselton, Robert B. “Dutch”; Douglas, Jonathan, Ice sensor for a heat pump.
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  11. Bitko Gordon ; O'Brien Gary, Integrated circuit pad structure with high temperature heating element and method therefor.
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  12. Stitt ; II R. Mark ; Hobson Larry D., Low temperature coefficient leadframe.
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  13. Tu, Xiang Zheng, MEMS vaporizer.
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  14. Tesson, Olivier; Barbier, Frédéric Francois, Meander resistor.
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  15. Shah, Anil D.; Gupta, Alankar, Method and apparatus for detecting conditions conducive to ice formation.
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  16. Shah,Anil D.; Gupta,Alankar, Method and apparatus for detecting conditions conducive to ice formation.
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  17. Finley Charles M., Method and apparatus for detecting ice buildup.
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  18. Keyhani Majid, Method and apparatus for detecting ice or frost deposition.
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  19. Tasi Ming-Jye,TWX ; Chang Kuo-Ming,TWX ; Chen Chien-Hung,TWX ; Chou Min-Chieh,TWX, Method for integrated mass flow controller fabrication.
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  20. Thomas Christopher P. (West Bloomfield MI) Coatesworth Timothy A. (Lake Orion MI) DeGroot Kenneth P. (Macomb Twp. MI) Ehlers Jeffery C. (Davisburg MI) McMackin Mark E. (Royal Oak MI) Jones Keith L. (, Method of pulse width modulating an oxygen sensor.
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  21. Cook, Donald E.; Feider, Michael P., Methods and systems for detecting icing conditions.
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  22. Kumada Akira (Kyoto JPX), Optical modulator.
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  23. Kim, Seojung; Eom, Yonghwan; Kim, Kyeongyun, Refrigerator and method for operating the same.
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  24. Leonhardt, Patrick A., Roadway freezing point monitoring system and method.
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  25. Leonhardt,Patrick A., Roadway freezing point monitoring system and method.
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  26. Stockmeier, Thomas; Forsyth, Richard; Troxler, Thomas, Semiconductor image sensor with integrated pixel heating and method of operating a semiconductor image sensor.
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  27. Winston ; Jr. Charles R. (North Canton CT), Semiconductor light source temperature measurement.
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  28. Larson, III, John D.; Ko, Herbert L.; Karlquist, Richard K.; Hueschen, Mark A.; Carey, Kent W., Systems and methods of monitoring thin film deposition.
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  29. Feder, Jan; Beyerle, Rick; Byers, Stephen; Jones, Thomas, Thermal control of a DUT using a thermal control substrate.
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  30. Feder,Jan; Beyerle,Rick; Byers,Stephen; Jones,Thomas, Thermal control of a DUT using a thermal control substrate.
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  31. Severson, John A., Thermal icing conditions detector.
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  32. Severson, John A., Thermal icing conditions detector.
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  33. Severson, John A., Thermal icing conditions detector.
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  34. Severson,John A., Thermal icing conditions detector.
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  35. Severson,John A., Thermal icing conditions detector.
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  36. Tsuchiya, Hideharu, Transparent face temperature sensor and transparent face temperature controller.
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  37. Sander Rainald,DEX ; Schlogel Xaver,DEX ; Tihanyi Jenoe,DEX, Two-chip power IC having an improved short-circuit response.
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