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Semiconductor wafer transfer method and arm mechanism 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B44C-001/22
출원번호 US-0116922 (1987-11-03)
발명자 / 주소
  • Davis Cecil J. (Greenville TX) Matthews Robert (Plano TX) Hildenbrand Randall C. (Richardson TX)
출원인 / 주소
  • Texas Instruments Incorporated (Dallas TX 02)
인용정보 피인용 횟수 : 21  인용 특허 : 5

초록 ▼

A complete integrated circuit processing module, wherein multiple processing stations, each with its own vacuum isolation, are located inside a single module which is held at hard vacuum. A wafer transport arm mechanism permits interchange of wafers among the processing stations and a load lock. The

대표청구항

The method of claim 12, further comprising the step of: lowering the arm to transfer the wafer from the arm.

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Richards Edmond A. (Marlton NJ), Apparatus for conveying a semiconductor wafer.
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  2. Davis Cecil J. (Greenville TX) Spencer John E. (Plano TX) Johnson Randall E. (Carrollton TX) Jucha Rhett B. (Celeste TX) Brown Frederick W. (Tarrant TX) Kohan Stanford P. (Garland TX), Automated single slice cassette load lock plasma reactor.
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  3. Uehara, Akira; Hijikata, Isamu; Nakane, Hisashi; Nakayama, Muneo, Automatic plasma processing device and heat treatment device for batch treatment of workpieces.
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  4. Olson Donald M. (Scottsdale AZ), High temperature and acid resistant wafer pick up device.
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  5. Edwards Alan T. (Corvallis OR) Smith Steven A. (Corvallis OR), Robotic gripper for disk-shaped objects.
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이 특허를 인용한 특허 (21)

  1. Doherty, Brian J.; Mariano, Thomas R.; Sullivan, Robert P., Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists.
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  2. Doherty, Brian J.; Mariano, Thomas R.; Sullivan, Robert P., Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists.
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  3. Doherty, Brian J.; Mariano, Thomas R.; Sullivan, Robert P., Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists.
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  4. Doherty, Brian J.; Mariano, Thomas R.; Sullivan, Robert P., Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists.
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  5. Doherty,Brian J.; Mariano,Thomas R.; Sullivan,Robert P., Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists.
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  6. O'Dell, Jeffrey L.; Verburgt, Thomas; Harless, Mark; Watkins, Cory, Automated wafer defect inspection system and a process of performing such inspection.
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  7. O'Dell, Jeffrey L.; Verburgt, Thomas; Harless, Mark; Watkins, Cory, Automated wafer defect inspection system and a process of performing such inspection.
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  8. O'Dell, Jeffrey; Verburgt, Thomas; Harless, Mark; Watkins, Cory, Automated wafer defect inspection system and a process of performing such inspection.
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  9. Zejda Jaroslav (Rodenbach DEX) Schuhmacher Manfred (Alzenau-Michelbach DEX), Cathode sputtering system.
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  10. Fosnight,William John; Bufano,Michael; Friedman,Gerald; Sullivan,Robert, Extractor/buffer.
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  11. Rigali, Louis A.; Hoffman, David E.; Wang, Keda; Smith, III, William F., High throughput plasma treatment system.
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  12. Rigali,Louis A.; Hoffman,David E.; Wang,Keda; Smith, III,William F., High throughput plasma treatment system.
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  13. Tyler, James Scott, High-speed symmetrical plasma treatment system.
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  14. Lingenhöl, Klaus; Radigk, Uwe; Landerer, Roman, Interlinking system for overhead transfer devices.
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  15. Condrashoff, Robert S.; Fazio, James P.; Hoffman, David E.; Tyler, James S., Material handling system and method for a multi-workpiece plasma treatment system.
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  16. Condrashoff, Robert Sergel; Fazio, James Patrick; Hoffman, David Eugene; Tyler, James Scott, Material handling system and methods for a multichamber plasma treatment system.
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  17. Tepolt Gary B., Robotic wafer handler.
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  18. Howells John ; Peltola Randall W., Semiconductor wafer transfer method and apparatus.
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  19. Itaba Masayuki,JPX ; Nishimura Kazuhiro,JPX, Substrate transfer method and interface apparatus.
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  20. Chrisos John M. (Beverly MA) Fowler ; Jr. Bertram F. (Danvers MA) Muka Richard S. (Topsfield MA), Wafer handling apparatus.
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  21. Howells John ; Gorman Andrew P. ; Peltola Randall W., Wafer handling system and method.
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