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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0070986 (1987-07-08) |
우선권정보 | JP-0303137 (1986-12-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 114 인용 특허 : 1 |
A substrate processing apparatus includes input and output chambers for loading and unloading substrates into and out of the apparatus, a separation chamber connected to the input and output chambers, a plurality of substrate processing chambers connected to the separation chamber for processing the
A substrate processing apparatus including input and output chambers for loading and unloading substrates into and out of the apparatus and at least one substrate processing chamber connected to said input and output chambers for applying a plurality of processings to the substrates, said apparatus
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