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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0933393 (1986-11-21) |
우선권정보 | JP-0268737 (1985-11-28); JP-0057733 (1986-03-14); JP-0115931 (1986-05-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 49 인용 특허 : 3 |
A resist developing apparatus comprising a developing tank consisting of a top portion, a body portion, and a bottom portion, at least one of the top, body, and bottom portions being comprised of an inner wall and an outer wall, a heat exchange chamber being defined between the inner and outer walls
A resist developing apparatus comprising: a developing tank including a top portion, a body portion, and a bottom portion, wherein said top portion and said body portion have an inner wall and an outer wall, wherein a heat exchange chamber is defined between said inner and outer walls for being supp
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