[특허]Apparatus for applying multilayer optical interference coating on complex curved substrates

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B05C-011/00
출원번호	US-0104610 (1987-10-05)
발명자 / 주소	Lee James C. (Plymouth MN)
출원인 / 주소	Honeywell Inc. (Minneapolis MN 02)
인용정보	피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 6

초록 ▼

Precision multilayer optical interference coating of substrates having complex topology using complementary shaped electrodes and plasma enhanced chemical vapor deposition within a chamber. The materials for the optical quality thin films are obtained from starting reactants of the form M-R where M denotes a metal atom and R denotes an organic component. These starting reactants are brought into a reactive atmosphere of the chamber through a plurality of orifices in one of the shaped electrodes. The resulting substances are deposited as thin films upon the substrates.

대표청구항 ▼

An apparatus for applying high performance optical interference coatings to a polymeric substrate of complex curved topography comprising: first electrode means, having a surface with a contour matching a contour of a first side of said substrate that is juxtaposed to said first electrode means; second electrode means, which is a driven electrode, having a surface with a contour matching a contour of a second side of said substrate having orifices on the surface with the contour, and said second electrode means being proximate to the substrate and to said first electrode means, and said substrate being interposed between said first and second electrode means, for providing an electric field in conjunction with aid first electrode means to excite a plasma; containing means for encompassing said first and second electrode means, encompassing the plasma, and encompassing a substrate feeding means connected to said second electrode means, for providing a substance through the orifices of said second electrode means, wherein said feeding means transports the substance through said driven electrode into said containing means subject to the electric field resulting in the plasma thereby allowing at least one thin film to be deposited on said substrate; and power means, connected to said first and second electrode means, for supplying energy for the electric field between said first and second electrode means.

이 특허에 인용된 특허 (6) 인용/피인용 타임라인 분석

Brinker C. Jeffrey (Albuquerque NM) Keefer Keith D. (Albuquerque NM) Lenahan Patrick M. (State College PA), Inorganic-polymer-derived dielectric films.
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Takagi Toshinori (Nagaokakyo JPX), Ionized-cluster deposited on a substrate and method of depositing ionized cluster on a substrate.
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Enomoto Mitsugu (Tanashi JPX) Yoshikawa Yoji (Tanashi JPX) Koshi Masao (Sayama JPX), Method of sensing the amount of a thin film deposited during an ion plating process.
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Addiss ; Jr. Richard Robert (Bedford MA) Albertinetti Nedo Peter (Canton MA), Process for coating glass onto polymeric substrates.
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Kubacki ; Ronald M., Process for producing a well-adhered durable optical coating on an optical plastic substrate.
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Fujiwara Junichi (Yachimata JPX) Nakamura Kazuo (Tokyo JPX), Process for the surface treatment of a synthetic resin lens and the product thereof.
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이 특허를 인용한 특허 (7) 인용/피인용 타임라인 분석

Legein, Filip; Vanlandeghem, Anthony; Martens, Peter, Coated electronic devices and associated methods.
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Coulson, Stephen Richard; Burnett, Ian; Sambell, John Henry, Coating of a polymer layer using low power pulsed plasma in a plasma chamber of a large volume.
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Dalakos, George Theodore, Optically coated article and method for its preparation.
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Kong, Sik On; Rajgopal, Rajan; Wong, George, Photolithographic methods for making liquid-crystal-on-silicon displays with alignment posts and optical interference layers.
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Mallon Thomas G. (Santa Clara CA), Plasma enhanced chemical vapor reactor with shaped electrodes.
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Mallon Thomas G., Semiconductor integrated circuit processing wafer having a PECVD material layer of improved thickness uniformity.
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Badyal, Jas P. S.; Coulson, Stephen Richard; Willis, Colin R.; Brewer, Stuart A., Surface coatings.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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