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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0053202 (1987-05-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 22 인용 특허 : 2 |
A system for high purity cleaning of components includes a cleaning chamber which is maintained at a pressure above ambient atmospheric pressure. A gas-glide transporter extends through the cleaning chamber and includes a pair of slightly tilted elongate tubes having a plurality of tiny holes therei
A method of high purity cleaning including particle removal from an item to b cleaned, comprising: (a) providing a cleaning chamber which may be substantially sealed to provide a clean environment; (b) introducing an item to be cleaned into said chamber; (c) introducing a flow of dry, filtered air i
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