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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0154308 (1988-02-10) |
우선권정보 | JP-0029803 (1987-02-13); JP-0029804 (1987-02-13); JP-0029805 (1987-02-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 9 |
A dust-proof container for keeping therein a mask or reticle usable to transfer a pattern onto a semiconductor wafer for the manufacture of integrated circuits, is disclosed. The container includes a casing within which supporting pins for supporting the mask or reticle are formed. Also, in the casi
A dust-proof container, comprising: a casing for keeping therein a reticle, said casing having an opening for allowing insertion and extraction of the reticle therethrough; a door pivotably supported by said casing and being adapted to cover said opening; a plate-like spring member cantilevered in s
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