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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0920798 (1986-10-20) |
발명자 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 94 인용 특허 : 6 |
A gas, ionizable to produce a plasma, is introduced into a region defined within an ion source. An anode is disposed near one end of that region, and a cathode is located near the other. A potential is impressed between the anode and the cathode to produce electrons which flow generally in a directi
An ion source comprising: means for introducing and distributing a gas, ionizable to produce a plasma, uniformly in a transverse direction across a region within said source; an anode disposed within said source near one longitudinal end of said region; a cathode disposed near the other longitudinal
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