[특허]Silicon based mass airflow sensor and its fabrication method

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01F-001/68
출원번호	US-0137299 (1987-12-23)
발명자 / 주소	Lee Ki W. (Williamsburg VA) Choi Il-Hyun (Newport News VA)
출원인 / 주소	Siemens-Bendix Automotive Electronics L.P. (Troy MI 02)
인용정보	피인용 횟수 : 29 인용 특허 : 27

초록 ▼

A mass airflow sensor is fabricated on a semiconductor substrate and which includes (1) a dielectric diaphragm, (2) p-etch-stopped silicon rim, (3) thin-film heating and temperature sensing elements, and (4) tapered chip edges. The dielectric diaphragm is formed with thin silicon oxide and silicon nitride in a sandwich structure and provides excellent thermal insulation for the sensing and heating elements of the sensor. The diaphragm dimensions, including thickness, are accurately controlled through the use of the heavily-p-doped silicon rim to help ensure uniform and reproducible sensor performance.

대표청구항 ▼

A mass airflow sensor having a longitudinal axis comprising: a dielectric diaphragm; a thin-film heating element disposed on said diaphragm; a thermally conductive semiconductor rim comprising a heavily doped etch stopped region encompassing at least a major portion of said dielectric diaphragm; and at least one thin-film sensing element disposed on said diaphragm, said at least one sensing element being disposed at least in part over said semiconductor rim, whereby the temperature gradient between the heating element and said at least one sensing element may be monitored to determine the airflow rate, said heating element being centrally disposed substantially along the longitudinal axis of the sensor and a plurality of sensing elements disposed on both sides of said heating element.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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