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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0279273 (1988-12-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 3 |
A thermal cracking apparatus for cracking organic or inorganic gases is described. More particularly, the thermal cracker cracks inorganic gases such as arsine and phosphine for use in the growth of III-V compound semiconductor layers. The design of the apparatus minimizes the uptake of contaminants
An apparatus for disassociating organic and/or inorganic gases by thermal means in a vacuum chamber comprising: a straight, hollow, empty open-ended graphite tube, flange means connected to one end of said graphite tube for mounting said apparatus substantially within the vacuum chamber, means for i
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