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Chemical vapor deposition reactor for producing metal carbide or nitride whiskers 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C30B-029/62
  • C30B-035/00
출원번호 US-0899834 (1986-08-25)
발명자 / 주소
  • D\Angelo Charles (Southboro MA) Baldoni
  • II Joseph G. (Norfolk MA) Buljan Sergej-Tomislav (Acton MA)
출원인 / 주소
  • GTE Laboratories Incorporated (Waltham MA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 11

초록

A reactor for producing single crystal metal carbide, nitride, or carbonitride whiskers, where the metal is one or more of Ti, Zr, Hf, Nb, Ta or W. The reactor walls and inner fixtures provide the substrate surfaces, greatly increasing the surface area available for whisker growth. Preferred substra

대표청구항

A reactor for producing metal carbide, nitrde, or carbonitride single crystal whiskers comprising: A. a reaction vessel having outer walls generally enclosing a reaction chamber, sealed from the ambient atmosphere and adapted to cooperate with heating means for heating of the reaction chamber to an

이 특허에 인용된 특허 (11)

  1. Zaferes Constantine J. (Santa Clara CA), Apparatus for chemical vapor deposition of films on silicon wafers.
  2. Divecha Amarnath P. (Falls Church VA) Wilson Roger E. (Silver Spring MD), Fabrication of novel whisker reinforced ceramics.
  3. Verzemnieks Juris (Tacoma WA), Method for making a3N4 whiskers and articles therefrom.
  4. Saito Hajime (1088-193 ; Aza-Hirago ; Ohaza-Fujieda ; Nisshin-Cho Aichi-Gun ; Aichi Pref. JPX) Urakawa Tetsuro (Kariya JPX), Method of manufacturing b 상세보기
  • Tanaka Minoru (Kobe JPX) Kawabe Tadashi (Ako JPX), Method of manufacturing crystalline silicon nitride and method of separation thereof.
  • Sheppard Robert S. (Doylestown OH) Groening Franklin E. (Akron OH), Preparation of finely-divided refractory powders of groups III-V metal borides, carbides, nitrides, silicides and sulfid.
  • Yamamoto Akira (Nagoya JPX), Process for preparing silicon carbide whiskers.
  • Morgan, Peter E. D.; Pugar, Eloise A., Process for producing amorphous and crystalline silicon nitride.
  • Czupryna Gary (Sharon MA) Natansohn Samuel (Sharon MA) Long Robert A. (Towanda PA) Munn Robin W. (Sayre PA), Process for the growth of alpha silicon nitride whiskers.
  • Lesk Israel A. (Phoenix AZ) Rice ; Jr. M. John (Tempe AZ) Sarma Kalluri R. (Mesa AZ), Silicon deposition process.
  • Galasso Francis S. (Manchester CT) Veltri Richard D. (East Hartford CT), Silicon nitride coated carbon fibers and composites.
  • 이 특허를 인용한 특허 (8)

    1. Biris,Alexandru Sorin; Biris,Alexandru Radu; Lupu,Dan; Wilkes,Jon Gardner; Buzatu,Dan Alexander; Miller,Dwight Wayne; Darsey,Jerry A., Apparatus and methods for synthesis of large size batches of carbon nanostructures.
    2. Lieber Charles M. ; Dai Hongjie, Carbide nanomaterials.
    3. Luttermann, Ansgar; Stankowski, Alexander; Bindernagel, Karsten, Device for cleaning oxidized or corroded components in the presence of a halogenous gas mixture.
    4. Evgeny Invievich Givargizov RU, Method and apparatus for growing oriented whisker arrays.
    5. Biris, Alexandru S.; Dervishi, Enkeleda; Xu, Yang; Li, Zhongrui, Methods of making horizontally oriented long carbon nanotubes and applications of same.
    6. Lieber Charles M. ; Wong Eric, Preparation of carbide nanorods.
    7. Mikawa, Yutaka; Kiyomi, Makiko; Kagamitani, Yuji; Ishiguro, Toru; Yamamura, Yoshihiko, Production method, production vessel and member for nitride crystal.
    8. Rudolph James Warren, Sealed reactant gas inlet for a CVI/CVD furnace.

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