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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0125224 (1987-11-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 14 |
An improved fluidized bed reactor and a method for its use characterized by a variable thickness inert liner surrounding the fluidized bed reaction zone. Such liner generates heat that is transferred to the reaction zone. The heat is generated in the inert liner by passing an electrical current thro
A method for the production of high purity polycrystalline silicon by pyrolyzing silane containing gas in a fluidied bed reaction zone, comprising: (a) introducing silane containing gas in a fluidized bed of silicon seed particles for heterogeneously decomposing said silane containing gas, the fluid
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