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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0421156 (1989-10-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 13 |
The present invention provides a method and apparatus for controlling the fluid flow bias of continuous, multiple zone processes having gas or vapor comprising atmospheres that are in immediate access to each other. Active control of the fluid flow bias in at least one process zone or control of the
A method for controlling fluid flow bias within a multiple zone furnace chamber having a free flow of non-air containing gas atmospheres from one zone to another, comprising: (a) withdrawing a sample of non-air containing atmosphere from within at least one of said zones; (b) analyzing said non-air
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