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Tunnel current detecting photo-acoustic spectrometer 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-021/00
  • G01N-023/00
출원번호 US-0246359 (1988-09-19)
우선권정보 JP-0234040 (1987-09-18)
발명자 / 주소
  • Tokumoto Hiroshi (Tsukuba JPX) Bando Hiroshi (Tsukuba JPX) Sakai Fumiki (Tokyo JPX) Miyata Chikara (Tokyo JPX) Wakiyama Shigeru (Tokyo JPX)
출원인 / 주소
  • Agency of Industrial Science and Technology (JPX 07) Seiko Instruments Inc. (JPX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 4

초록

The amount of deformations such as expansions or contractions of a substance caused in accordance with irradiation of cyclically interrupted monochromatic light is detected by either the changes in a tunnel current sensitive to the changing distance between a sample surface and a detection probe or

대표청구항

A tunnel current detecting photo-acoustic spectrometer comprising: a sample stage for mounting a sample thereon and a detection probe positioned to face the sample; a fine feed mechanism for finely positioning the sample and the detection probe; a coarse feed mechanism for coarsely positioning the d

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Takahashi Fuminobu (Katsuta JPX), Noncontact ultrasonic flaw detecting method and apparatus therefor.
  2. Binnig Gerd (Richterswil CHX) Rohrer Heinrich (Richterswil CHX), Scanning tunneling microscope.
  3. Rosencwaig Allan (Danville CA) Opsal Jon (Livermore CA), Thin film thickness measurement with thermal waves.
  4. Sakuhara Toshihiko (Tokyo JPX) Sakai Fumiki (Tokyo JPX) Uchiyama Tetsuo (Tokyo JPX), Tunneling scanning microscope having light source.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Yonak Serdar H. ; Dowling David R., Multiple microphone photoacoustic leak detection and localization system and method.
  2. Sato Chiaki,JPX ; Koshiishi Kiyozo,JPX ; Shigetomi Sadao,JPX ; Mishima Shuzo,JPX ; Takase Tsugiko,JPX, Scanning tunnel microscope.
  3. Zinck, Jennifer J.; Kirby, Deborah J., Thin film metal hydride hydrogen sensor.
  4. Wakita, Naohide, Vibration visualizer, vibration measurement system, and vibration measurement method.
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