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High-purity cleaning system, method, and apparatus

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B08B-005/00
출원번호 US-0355699 (1989-05-23)
발명자 / 주소
  • Cherry Roger L. (2636 Maria Ct. West Linn OR 97068)
출원인 / 주소
  • Cherry
  • Roger L. (West Linn OR 04)
인용정보 피인용 횟수 : 35  인용 특허 : 3

초록

A system for high purity cleaning of components includes a cleaning chamber which is maintained at a pressure above ambient atmospheric pressure. A gas-glide transporter extends through the cleaning chamber and includes a pair of slightly tilted elongate tubes having a plurality of tiny holes therei

대표청구항

A method of high purity cleaning including particle removal from an item to be cleaned, comprising: (a) placing an item to be cleaned in a chamber which is capable of providing a clean environment; (b) providing a high pressure solvent sprayer for directing and dispersing a spray consisting of indiv

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. Cherry Roger L. (West Linn OR) Burke Joseph J. (Portland OR) Platt Christopher W. (Portland OR) Cowles Craig H. (Tigard OR), High-purity cleaning system, method, and apparatus.
  2. Morris Thomas E. (Lake Jackson TX), Process for removing contaminants from soils.
  3. Capella Joseph A. (Crystal River FL) Fowler David E. (Gainesville FL), Tool decontamination method.

이 특허를 인용한 특허 (35)

  1. Narayanswami Natraj ; Wagener Thomas J. ; Siefering Kevin L. ; Cavaliere William A., Aerodynamic aerosol chamber.
  2. Rose Peter H. ; Sferlazzo Piero ; van der Heide Robert G., Aerosol surface processing.
  3. Rose Peter H. ; Sferlazzo Piero ; van der Heide Robert G., Aerosol surface processing.
  4. Hill ; III Walter E. (Littleton CO) Skulborstad Dale J. (Littleton CO) Howard ; Jr. John B. (Littleton CO) Marts Kenneth P. (Morrsion CO), Alcohol spray cleaning system.
  5. Brainard, David E.; McClain, James B.; Cole, Michael E.; Worm, Steve L., Apparatus and methods for conserving vapor in a carbon dioxide dry cleaning system.
  6. Brainard, David E.; McClain, James B.; Cole, Michael E.; Worm, Steve L., Apparatus for conserving vapor in a carbon dioxide dry cleaning system.
  7. Brainard, David E.; McClain, James B.; Cole, Michael E.; Worm, Steve L., Apparatus for conserving vapor in a carbon dioxide dry cleaning system.
  8. Bran,Mario E., Apparatus for megasonic processing of an article.
  9. A. Duane Preston ; Jon R. Turner ; Charles Svoboda, Carbon dioxide dry cleaning system.
  10. Preston A. Duane ; Turner Jon R., Carbon dioxide dry cleaning system.
  11. Preston A. Duane ; Turner Jon R., Carbon dioxide dry cleaning system.
  12. Milles, David Herbert; Forster, Peter Ivan, Cleaning a vehicle exhaust filter.
  13. Worm,Steve Lee; McClain,James B., Cleaning apparatus having multiple wash tanks for carbon dioxide dry cleaning and methods of using same.
  14. Becker David Scott ; Hanestad Ronald J. ; Thomes Gregory P. ; Weygand James F. ; Zimmerman Larry D., Eliminating stiction with the use of cryogenic aerosol.
  15. Bjornard Erik J. (Northfield MN) Kurman Eric W. (Northfield MN) Shogren David A. (Lakeville MN) Hoffman Jeffrey J. (Inver Grove Heights MN), Method and apparatus for cleaning substrates in preparation for deposition of thin film coatings.
  16. Jackson, David P., Method and apparatus for creating an open cell micro-environment for treating a substrate with an impingement spray.
  17. Bran, Mario E., Method for megasonic processing of an article.
  18. Spiegelman, Jeffrey J.; Alvarez, Jr., Daniel; Holmes, Russell J.; Tram, Allan, Method for the removal of airborne molecular contaminants using oxygen and/or water gas mixtures.
  19. Bran,Mario E., Method of cleaning a side of a thin flat substrate by applying sonic energy to the opposite side of the substrate.
  20. Bran, Mario E., Method of manufacturing integrated circuit devices.
  21. David E. Brainard ; James B. McClain ; Michael E. Cole ; Steve L. Worm, Methods and apparatus for conserving vapor and collecting liquid carbon dioxide for carbon dioxide dry cleaning.
  22. Worm, Steve Lee; McClain, James B., Methods of coating articles using a densified coating system.
  23. Sauer Richard A. ; Hubert Jean-Luc ; Connors Robert W., Pressure-swing absorption based cleaning methods and systems.
  24. Rose Peter H. ; Sferlazzo Piero, Processing a surface.
  25. Wagener Thomas J. ; Siefering Kevin L. ; Kunkel Pamela A. ; Weygand James F. ; Thomes Gregory P., Rotatable and translatable spray nozzle.
  26. DePalma, Philip W.; Sherman, Robert, System and method for controlling humidity in a cryogenic aerosol spray cleaning system.
  27. Bran, Mario E., System for megasonic processing of an article.
  28. Bran,Mario E., Transducer assembly for megasonic processing of an article and apparatus utilizing the same.
  29. Patrin John C. ; Heitzinger John M., Treating substrates by producing and controlling a cryogenic aerosol.
  30. Bran, Mario E., Wafer cleaning.
  31. Bran, Mario E., Wafer cleaning.
  32. Bran Mario E., Wafer cleaning method.
  33. Mario E. Bran, Wafer cleaning method.
  34. Bran Mario E., Wafer cleaning system.
  35. Bran Mario E., Wafer cleaning system.
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