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Thin film oxide dielectric structure and method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C25D-011/12
출원번호 US-0174063 (1988-03-28)
발명자 / 주소
  • Dickey John R. (Dayton OH) Davidson Jimmy L. (Auburn University AL) Tzeng Yonhua (Auburn University AL)
출원인 / 주소
  • The United States of America as represented by the Secretary of the Air Force (Washington DC 06)
인용정보 피인용 횟수 : 21  인용 특허 : 8

초록

A metallic oxide such as aluminum oxide of significantly improved electrical properties is disclosed. The method of oxide formation includes a combination of soft porous anodization followed by transformation to a hard barrier form of oxide using inter alia low temperature electrolytes, constant vol

대표청구항

A method for forming a film of dielectric of oxide on a metallic aluminum surface comprising the steps of: forming on said metallic aluminum surface a first electrolyte anodization layer of honeycomb structured porous soft aluminum oxide material transforming honeycomb structured porous soft aluminu

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Romankiw Lubomyr T. (Briarcliff Manor NY), Anodized articles and process of preparing same.
  2. Nakagawa Nobuo (Yokohama JPX) Kato Yoshiki (Tokyo JPX) Abe Katsuo (Yokosuka JPX) Edamura Takao (Yokohama JPX) Nakamura Takao (Yokohama JPX), Base plate for magnetic recording disc.
  3. Lerner ; Moisey M. ; Morse ; James H., Hard anodizing process.
  4. Bottom ; Virgil E., Method of adjusting the frequency of a crystal resonator and reducing ageing effects.
  5. Gibbs Stephen R. (Escondido CA) Chow Kuen (Del Mar CA), Multilevel metallization process.
  6. Nguyen Trung H. (Norton MA) McPherson Allan B. (North Adams MA), Preparation of capacitor electrodes.
  7. Ball John A. (Grassy Creek NC) Scott John W. (Clinton TN), Process for anodizing aluminum foil.
  8. Bernard ; Walter J. ; Szpak ; Stanley P., Two-stage anodization of capacitor electrodes.

이 특허를 인용한 특허 (21)

  1. Takagi Katsutoshi,JPX ; Onishi Takashi,JPX, A1-N1-Y alloy films for electrodes of semiconductor devices and sputtering targets for depositing the A1-N1-Y alloy films.
  2. Fujimoto, Kazumasa; Takeda, Yukio, Anode element, method of manufacturing the same, and solid electrolytic capacitor.
  3. Liu, Yanming; Nesselbeck, Neal; Goad, David; Muffoletto, Barry, Anodizing valve metals by self-adjusted current and power.
  4. Yeong-kwan Kim KR; In-seon Park KR; Sang-min Lee KR; Chang-soo Park KR, Capacitor for a semiconductor device and method for forming the same.
  5. Robinson,Karl M., Devices having improved capacitance.
  6. Robinson, Karl M., Devices having improved capacitance and methods of their fabrication.
  7. Robinson, Karl M., Devices having improved capacitance and methods of their fabrication.
  8. Robinson,Karl M., Devices having improved capacitance and methods of their fabrication.
  9. Hodge James D. ; Remillard Stephen K., High-purity polycrystalline alumina cryogenic dielectric.
  10. Shashkov, Pavel; Khomutov, Gennady; Yerokhin, Aleksey; Usov, Sergey, Insulated metal substrate.
  11. Teruo Sasagawa ; Brian W. Arbuckle, Integration of anodized metal capacitors and high temperature deposition capacitors.
  12. Su, Wen-Herng; Lu, Junying; Lee, Ho-Shang, Light emitting diode submount with high thermal conductivity for high power operation.
  13. Su, Wen-Herng; Lu, Junying; Lee, Ho-Shang, Light emitting diode submount with high thermal conductivity for high power operation.
  14. Burke, Thomas F., Metalized dielectric substrates for EAS tags.
  15. Burke,Thomas F., Metalized dielectric substrates for EAS tags.
  16. Yeong-kwan Kim KR; In-seon Park KR; Sang-min Lee KR; Chang-soo Park KR, Method for forming a capacitor of a semiconductor device.
  17. Kinard, John Tony; Melody, Brian John; Wheeler, David Alexander; Stenzinger, Duane Earl; Harrington, Albert Kennedy, Method of making a capacitor by anodizing aluminum foil in a glycerine-phosphate electrolyte without a pre-anodizing hydration step.
  18. Isurugi, Akinobu; Minoura, Kiyoshi; Imaoku, Takao, Mold and production method for same, and anti-reflection film.
  19. Liu, Yao-Ren; Lee, Ho-Shang, Multi-layer circuit board for mounting multi-color LED chips into a uniform light emitter.
  20. Shashkov, Pavel; Khomutov, Gennady; Yerokhin, Aleksey; Usov, Sergey, Non-metallic coating and method of its production.
  21. Sunil D. Wijeyesekera ; Jing Jing ; Donald C. Benson ; Teruo Sasagawa, Thin film capacitors.
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