최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0256020 (1988-10-11) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 10 |
Artificial intelligence diagnostic expert system software is used to interrogate and monitor etcher machine state by directly accessing vital hardware/process sensors. Sensor values and ‘recipe’variables are analyzed to determine cause of failures and recommend repair strategies, realtime monitoring
An automated diagnostic system, comprising: a machine for performing process steps on a workpiece, wherein a plurality of process variables assume different states; an interface coupled to said machine for sensing the state of said plurality of process variables, and for controlling said plurality o
해당 특허가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.