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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0244101 (1988-09-14) |
우선권정보 | JP-0210616 (1986-09-09); JP-0210618 (1986-09-09); JP-0210619 (1986-09-09); JP-0262437 (1986-11-04); JP-0283061 (1986-11-29); JP-0283062 (1986-11-29); JP-0283063 (1986-11-29); JP-0076269 (1987-03-31); JP-0076 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 3 |
A fine positioning device is formed of a rigid support member; a first set of radial flexible-beam displacement mechanisms provided symmetrically to each other on the support member to produce angular displacements about a first axis; a second set of radial flexible-beam displacement mechanisms prov
A fine positioning device comprising: (a) a rigid support member; (b) a first set of radial flexible-beam displacement mechanisms provided symmetrically to each other on the support member to produce angular displacements about a first axis; (c) a second set of radial flexible-beam displacement mech
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