최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0517325 (1990-05-01) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 10 |
An elongated fast cycle cryopump device connected to a refrigerant source has a rigid head section adapted to extend through a pass-through opening of a vacuum chamber. The head end section has a feed tube and a return flow passage, the feed tube being connected to a valve for selectively receiving
An elongated fast cycle cryopump probe device for use within a vacuum chamber having a wall section with a pass-through opening, said device comprising: a rigid head end section adapted to be mounted on said wall section of said vacuum chamber while extending within a pass-through, said head end sec
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.