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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0289807 (1988-12-21) |
우선권정보 | JP-0325385 (1987-12-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 0 |
Supply equipment for providing a stable supply of feed gas of an organic metal compound at a constant concentration comprises a cylindrical vessel with an organic metal compound housed, an inlet tube of carrier gas for vaporizing said organic metal compound, an outlet tube for letting out the carrie
Supply equipment for stable supply of feed gas of an organic metal compound at a constant concentration which comprises a generally cylindrical vessel having a solid organic metal compound housed therein, said vessel comprising an upper cylinder supported on and extending upwardly from a smaller dia
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