[특허]Apparatus and method for producing semiconductor device

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Apparatus and method for producing semiconductor device 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01L-021/46
출원번호	US-0436747 (1989-11-15)
우선권정보	JP-0151654 (1987-06-17); JP-0303689 (1987-11-30); JP-0303691 (1987-11-30); JP-0322009 (1987-12-18)
발명자 / 주소	Yamauchi Shunji (Fukuoka Prefecture JPX) Tanaka Minoru (Fukuoka Prefecture JPX) Sakamoto Kenitiro (Fukuoka Prefecture JPX) Morita Yutaka (Fukuoka Prefecture JPX) Kidera Toru (Fukuoka Prefecture JPX)
출원인 / 주소	Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha (JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 8

초록 ▼

An apparatus for producing a semiconductor device includes a dust-proof cover which covers a dust-generating portion in the apparatus such as a mold for effecting resin-molding of the semiconductor device composed of a lead frame and semiconductor chips wire- and die-bonded thereto, and a dust colle

대표청구항 ▼

A method of processing a semiconductor chip mounted on a lead frame comprising: shielding from ambient air a space around a semiconductor chip and a lead frame on which the chip is mounted with a dust-proof cover for containing dust created during processing of the chip and lead frame; carrying out the process on the lead frame and the semiconductor chip within said dust-proof cover that produces dust; directing a stream of a gas within the dust-proof cover and varying the flow direction of the stream within the dust-proof cover to blow the dust produced in the process into the space within the dust-proof cover; and collecting the dust from within the dust-proof cover.

이 특허에 인용된 특허 (8)

Yamauchi Shunji (Fukuoka JPX) Tanaka Minoru (Fukuoka JPX) Sakamoto Kenitiro (Fukuoka JPX) Morita Yutaka (Fukuoka JPX) Kidera Toru (Fukuoka JPX) Mieda Hiroki (Fukuoka JPX), Apparatus for producing semiconductor device.
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Tanaka Hirokuni (Kourai Ooiso JPX), Clean air supply means in a clean tunnel.
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Kasdagly Dino G. (Rome PA), Copper and dual durometer rubber multiple connector.
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Mimata Tsutomu (Akikawa JPX) Uematsu Toshihide (Hinode JPX) Tabata Katsuhiro (Higashimurayama JPX), Manufacturing apparatus.
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Masaru Yasui (Yokohama JPX), Method and apparatus for disposing dust produced during amorphous silicon film-forming process.
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Fierkens Richardus H. J. (Herwen NLX) Pas Ireneus J. T. M. (Rozendaal NLX), Method and apparatus for mold cleaning by reverse sputtering.
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Shimizu Katsuo (Saitama JPX) Narisawa Saburo (Saitama JPX), Method and apparatus for packaging semiconductor device and the like.
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Plocher Werner (Horb DEX), Press with a plurality of injection plungers.
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특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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