[특허]Gaseous component identification with polymeric film sensor

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01N-027/00
출원번호	US-0405824 (1989-09-05)
발명자 / 주소	Kolesar Jr. Edward S. (Beavercreek OH)
출원인 / 주소	United States of America As Represented by the Secretary of the Air Force (Washington DC 06)
인용정보	피인용 횟수 : 30 인용 특허 : 0

초록 ▼

A sensor having an interdigitated gate electrode field effect transistor (IGEFET) coupled to an electron beam evaporated copper phthalocyanine thin film is used to selectively detect parts-per-billion concentration levels of atmosphere contaminants such as nitrogen dioxide (NO2) and diisopropyl methylphosphonate (DIMP). The sensor is excited with a voltage pulse, and its time- and frequency-domain response are examined. The envelopes of the magnitude of the normalized difference frequency spectrums reveal features which unambiguously distinguish the NO2 and DIMP exposures.

대표청구항 ▼

Electronic gaseous component detecting and measuring apparatus comprising the combination of: a first array of electrical conductors disposed over the surface of an electrically insulating substrate member and connected to a first electrical terminal; a second array of electrical conductors disposed intermediate of said first array conductors on said electrically insulating substrate member and connected to a second electrical terminal; a chemically reactive gaseous component responsive polymeric thin film membrane member disposed over the surface of said substrate member and the conductors of said first and second arrays, the resistivity of said membrane member being determinative of the electrical conductivity between said first and second electrical terminals; a source of pulsed electrical energy series coupled with said electrical terminals and generating a pulsed conductivity modulated output signal from said membrane member; amplifying means series connected with said pulsed electrical energy source and said electrical terminals for enhancing said membrane member conductivity modulated pulsed electrical signal; Fourier transform means connected with the pulsed output signal of said amplifying means for spectral comparison identification and concentration quantification of unknown gaseous components.

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