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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0296435 (1989-01-12) |
우선권정보 | JP-0003960 (1988-01-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 33 인용 특허 : 0 |
An apparatus for inspecting pattern defects in circuit board conductors or other images has inspecting units which perform inspection operations based on various pattern matching approaches, which include design rule checking and expansion/contraction processing. Each of the inspecting units inspect
A method of inspecting an object to detect pattern defects thereof, comprising the steps of: (a) providing a plurality of inspecting units each of which operates in accordance with a respective inspecting principle; (b) defining, in a defining means, an inspection domain which forms a source of the
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