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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0481708 (1990-02-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 0 |
An apparatus and method for reprocessing waste piranha containing contaminated H2SO4 from, for example, a semiconductor processing operation is described. The apparatus and method include a first distillation flask which is maintained under a substantial vacuum. The first distillation flask includes
An acid reprocessor for reprocessing waste piranha containing contaminated sulfuric acid (H2SO4) from a semiconductor processing operation, said acid reprocessor comprising: an input flask means for receiving said waste piranha containing contaminated H2SO4, light boiling contaminants, water and par
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