[특허]Steam generator

Applied Materials, Inc. (Santa Clara CA 02)

Steam generator

국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	F22B-001/28
출원번호	US-0419865 (1989-10-11)
발명자 / 주소	Lorimer D\Arcy (Santa Clara CA)
출원인 / 주소	Applied Materials, Inc. (Santa Clara CA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 0

초록 ▼

A steam generator has a plurality of vertically oriented boiling chambers. Feed water enters the top chamber and cascades down through drain tubes to the lower chambers. The bottom chamber has a drain to remove excess feed water. Each chamber has a feed water reservoir in which an electrical coil causes gentle boiling. The steam produced in each chamber is substantially free of droplets and is allowed to rise to the top chamber through steam passageways. A steam outlet in the top chamber allows the steam to be released for use in semiconductor wafer cleaning systems and other applications requiring pure steam. The steam generator may be formed by stacking modular units together.

대표청구항 ▼

A steam generator comprising, a plurality of stacked, interconnected, vertically-oriented liquid-holding chambers, there being a top chamber and a bottom chamber, each chamber having a sidewall and a bottom wall, means for introducing water into the top chamber, means within the sidewall of each of said chambers above the bottom chamber for communicating overflow water from a higher chamber to a lower chamber, the bottom chamber having a drain means for removing water reaching the bottom chamber, means for heating the water in each chamber to create steam in each of said chambers, said heating means immersed in liquid in each chamber, means for conducting said steam from a lower chamber to the chambers above, the steam migrating upwardly to a collection zone, means for releasing said steam from said collection zone.

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