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[미국특허] Method for carbon film production 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-014/34
출원번호 US-0007747 (1987-01-28)
우선권정보 JP-0019566 (1986-01-31); JP-0019567 (1986-01-31); JP-0019568 (1986-01-31); JP-0019569 (1986-01-31); JP-0019570 (1986-01-31)
발명자 / 주소
  • Watanabe Misuzu (Kawasaki JPX)
출원인 / 주소
  • Kabushiki Kaisha Meidenshae (Tokyo JPX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 30  인용 특허 : 0

초록 ▼

A carbon film producing method utilizing a reactive sputtering process for projecting carbon particles from a graphite target electrode to deposite a very thin layer on a substrate. The reactive sputtering process is performed at a predetermined pressure in an atmosphere of hydrogen gas mixed at a p

대표청구항 ▼

A method of producing a carbon film on a substrate, comprising the steps of: placing the substrate in a vacuum chamber having a graphite target electrode placed therein; evacuating the vacuum chamber to a predetermined pressure; introducing a gaseous mixture into the vacuum chamber to produce a gase

이 특허를 인용한 특허 (30) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Fiala Robert ; Zeigler Dary ; Welson Darren ; Del Real Jose ; Rudolph James W., Combination CVI/CVD and heat treat susceptor lid.
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  2. Hirabayashi Keiji (Tokyo JPX) Yamagami Atsushi (Kawasaki JPX), Diamond crystal forming method.
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  3. Krisko,Annette J.; Hartig,Klaus, Graded photocatalytic coatings.
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  4. Krisko, Annette J.; Bond, Bob; Stanek, Roger; Pfaff, Gary; Hartig, Klaus, Low-emissivity, soil-resistant coating for glass surfaces.
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  5. Myli, Kari B.; Krisko, Annette J.; German, John R.; Hartig, Klaus, Low-maintenance coating technology.
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  6. Krisko, Annette J.; Myli, Kari B.; Pfaff, Gary L.; Brownlee, James E., Low-maintenance coatings.
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  7. Krisko, Annette J.; Myli, Kari B.; Pfaff, Gary L.; Brownlee, James E., Low-maintenance coatings.
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  8. Krisko, Annette J.; Myli, Kari; Pfaff, Gary L.; Brownlee, James, Low-maintenance coatings.
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  9. Krisko, Annette J.; Myli, Kari; Pfaff, Gary L.; Brownlee, James, Low-maintenance coatings.
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  10. Myli, Kari B.; Krisko, Annette J.; Brownlee, James E.; Pfaff, Gary L., Low-maintenance coatings, and methods for producing low-maintenance coatings.
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  11. Dennis T. Garn ; Jerry S. Lee ; James W. Rudolph, Method and apparatus for cooling a CVI/CVD furnace.
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  12. Fiala, Robert; Rudolph, James W.; Garn, Dennis T.; Lee, Jerry S., Method and apparatus for cooling a CVI/CVD furnace.
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  13. Garn, Dennis T.; Lee, Jerry S.; Rudolph, James W., Method and apparatus for cooling a CVI/CVD furnace.
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  14. James Warren Rudolph, Method and apparatus for inhibiting infiltration of a reactive gas into porous refractory insulation.
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  15. Roger A. Ross ; Patrick C. Trujillo ; Robert Fiala, Method and apparatus for pressure measurement in a CVI/CVD furnace.
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  16. Krisko,Annette J.; Bond,Bob; Stanek,Roger; Pfaff,Gary; Hartig,Klaus, Methods and apparatuses for depositing film on both sides of a pane.
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  17. Myli, Kari; Pfaff, Gary; Brownlee, James; German, John; Krisko, Annette; Hartig, Klaus, Methods and equipment for depositing hydrophilic coatings, and deposition technologies for thin films.
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  18. Krisko, Annette J.; Myli, Kari B.; Pfaff, Gary L.; Brownlee, James, Opposed functional coatings having comparable single surface reflectances.
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  19. Li, Yunlong; Sato, Noriyoshi; Iizuka, Satoru, Plasma generation apparatus.
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  20. Rudolph James Warren, Sealed reactant gas inlet for a CVI/CVD furnace.
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  21. Knox, Michael R.; Murray, Scott L.; Narendra, Jeffri J., Single mode microwave device for producing exfoliated graphite.
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  22. Krisko, Annette J.; Bond, Bob; Stanek, Roger; Pfaff, Gary; Hartig, Klaus, Soil-resistant coating for glass surfaces.
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  23. Krisko, Annette J.; Hartig, Klaus; O'Shaughnessy, Roger D., Soil-resistant coating for glass surfaces.
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  24. Krisko, Annette; Hartig, Klaus; O'Shaughnessy, Roger D., Soil-resistant coating for glass surfaces.
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  25. Krisko,Annette J.; Bond,Bob; Stanek,Roger; Pfaff,Gary; Hartig,Klaus, Soil-resistant coating for glass surfaces.
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  26. Babich Edward D. ; Callegari Alessandro Cesare ; Doany Fuad Elias ; Purushothaman Sampath, Sputter deposition of hydrogenated amorphous carbon film and applications thereof.
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  27. Brabender, Dennis M; Kokoschke, Jeffrey L, Sputtering apparatus including target mounting and control.
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  28. Guseva, Malvina B.; Novikov, Nikolay D.; Babaev, Vladimir G.; Adamyan, Arnold A.; Lavygin, Igor A., Tetracarbon.
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  29. Malvina B. Guseva RU; Nikolay D. Novikov RU; Vladimir G. Babaev RU; Arnold A. Adamyan RU; Igor A. Lavygin RU, Tetracarbon.
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  30. Malvina B. Guseva RU; Nikolay D. Novikov RU; Vladimir G. Babaev RU; Arnold A. Adamyan RU; Igor A. Lavygin RU, Tetracarbon.
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