[특허]Wafer reactor vessel window with pressure-thermal compensation

Wafer reactor vessel window with pressure-thermal compensation 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-016/48 C23C-016/56
출원번호	US-0579741 (1990-09-07)
발명자 / 주소	Adams David V. (San Jose CA) Anderson Roger N. (San Jose CA)
출원인 / 주소	Applied Materials, Inc. (Santa Clara CA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 47 인용 특허 : 0

초록 ▼

A quartz window for a wafer reactor vessel has a flat bow for withstanding the pressure differential between the ambient outside pressure and the reduced pressure in the wafer chamber. The bow is enhanced at elevated operating temperatures to compensate for the flattening effect of higher pressure differentials. The enhanced bowing is provided by a rigid peripheral flange which radially confines the window. The thermal expansion within the window is not expressed radially, but is directed outward to increase the bow.

대표청구항 ▼

A reactor for processing semiconductor wafers at an elevated temperature in a processing gas at a reduced pressure, comprising: reactor vessel having a wafer chamber for containing at least one semiconductor wafer during processing, and having a heating port through the reactor vessel to the chamber; radiant energy heating means outside of the reactor vessel for radiating energy through the heating port into the chamber to elevate the temperature of the wafer; gas means for introducing the processing gas into the chamber and for evacuating the processing gas from the chamber; cover member mounted over the heating port, having a central window portion and a peripheral flange portion; the central window portion formed of a material which is generally transparent to the radiant energy from the heating means for passing the radiant energy into the chamber, and having an outward bow defining a convex outside surface and a concave inside surface for opposing the compressive force created by the reduced pressure within the chamber; and the peripheral flange portion supporting the window portion, and for radially confining the window portion in response to thermal expansion within the window portion for enhancing the outward bow of the window portion.

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