[특허]Vacuum processing apparatus and transportation system thereof

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B05C-003/09 B60L-013/04 B60L-013/10
출원번호	US-0365677 (1989-06-13)
우선권정보	JP-0143685 (1988-06-13); JP-0143686 (1988-06-13)
발명자 / 주소	Katagiri Yoshitaka (Yokohama JPX)
출원인 / 주소	Asahi Glass Company Ltd. (Tokyo JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 42 인용 특허 : 0

초록 ▼

A vacuum processing apparatus comprises a carrying body for holding a glass plate thereon, a pair of elongated stationary members extended in a vacuum chamber in which processing stages for forming films on the glass plate by a vapor deposition method are provided, a linear motor transportation device provided at one of the stationary members, and a pair of movable members provided at both sides of the carrying body so that the movable members are moved along the stationary members in a non-contacting state by the action of the linear motor device.

대표청구항 ▼

A transportation system for a vacuum processing apparatus which comprises a supporting means for supporting a material to be processed and a transportation means for transporting said supporting means in a vacuum processing apparatus wherein said transportation means comprises a magnetically floating type linear motor transportation means comprising a stationary member and a movable member movable with respect to said stationary member in a non-contacting state, wherein said transportation means comprises a pair of magnetically floating type linear motor transportation means at least one of which has a driving force generating section, and said supporting means comprises at least two side surfaces, said supporting means comprising supporting members at each of said side surfaces to support said material to be processed.

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A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
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