최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0621284 (1990-11-29) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 50 인용 특허 : 0 |
A method and apparatus for self-aligning a source region with a field oxide region and a polysilicon gate and word line in a semiconductor device. This method and apparatus allows reduced memory cell size and improved device density by substantially eliminating the bird\s beak encroachment and corne
In a semiconductor device having a silicon substrate, a method of forming source regions in said silicon substrate said source regions self-aligned with polysilicon regions and field oxide regions, said method comprising: a) forming continuous substantially parallel field oxide regions on said silic
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.