[특허]Method of forming integral electroplated filters on fluid handling devices such as ink jet printheads

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C25D-001/08
출원번호	US-0781694 (1991-10-23)
발명자 / 주소	O\Neill James F. (Penfield NY)
출원인 / 주소	Xerox Corporation (Stamford CT 02)
인용정보	피인용 횟수 : 16 인용 특허 : 0

초록 ▼

A method of fabricating an integral filter on a substrate includes: blanket depositing a base layer of a metallic material on a planar surface of the substrate; depositing a patternable material layer over the base layer of metallic material; patterning a plurality of grid lines in the paternable material layer to form a filter pattern; depositing metallic material in the grid lines of the filter pattern by electroplating, to form a filter over the base layer; removing the patternable material layer from the planar surface; and removing the base layer of metallic material at least between the grid lines of the electroplated filter. Preferably, the substrate is part of a fluid handling device, and therefore, includes a through-hole over which the filter is fabricated. Usually, the filter is fabricated prior to forming the through-hole. In one example, the fluid-handling device is a channel plate for a thermal ink jet printhead.

대표청구항 ▼

A method of fabricating a channel plate for an ink jet printhead, comprising: a) depositing a patternable etch resistant layer on a first planar surface of a substrate, said substrate also having a second planar surface parallel to and opposite from said first planar surface; b) blanket depositing a base layer of a metallic material on said second planar surface of said substrate; c) depositing a photopatternable material layer over said base layer of metallic material; d) patterning a plurality of grid lines in said photopatternable material layer to form a filter pattern; e) depositing metallic material in the grid lines of said filter pattern by electroplating, to form a filter over said base layer; f) patterning a plurality of channel-defining grooves and at least one opening in said patternable etch resistant layer on said first planar surface of said wafer; g) etching a plurality of channels in said first surface of said wafer, and etching a reservoir hole through said wafer from said at least one opening in said patternable etch resistant layer to said second planar surface; h) removing said patternable etch resistant layer from said first planar surface and said photopatternable material layer from said second planar surface; and i) removing said base layer of metallic material at least between the grid lines of said electroplated filter.

이 특허를 인용한 특허 (16)

Fisher Almon P. ; Kneezel Gary A. ; Andrews John R., Efficient fluid filtering device and an ink jet printhead including the same.
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Kim,Kwang Ryul; Kwon,Myong Jong; Kim,Kyong Il; Kim,Nam Kyun; Park,Byung Ha; Park,Yong Shik; Han,Eun Bong; Ha,Young Ung; Park,Sung Joon; Min,Jao Sik, Filter plate usable with an ink jet head, an ink jet head with the filter plate, and a method of fabricating the filter plate.
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Andrews, John R., Ink jet printhead having a channel plate with integral filter.
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Bibl Andreas ; Ottosson Mats G. ; Gardner Deane A., Inkjet print head apparatus.
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Gary A. Kneezel ; John R. Andrews ; Robert V. Lorenze, Jr. ; Almon P. Fisher ; Mehmet Z. Sengun, Laser ablated filter.
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Kwan,Kin Ming; Shadwick,David T.; Saldanha,Jeanne M.; Spivey,Paul T.; Whitney,Jon B.; Gordon Whitney,Julie A., Method and apparatus for attaching an ink jet filter to an ink cartridge.
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Aya Yoshihira JP; Hiroshi Sugitani JP; Tadayoshi Inamoto JP; Makiko Kimura JP; Toshio Kashino JP; Shuji Koyama JP; Takeshi Okazaki JP; Kiyomitsu Kudo JP; Yoshie Nakata JP; Toshihiro Mori JP, Method for producing liquid ejecting head and liquid ejecting head obtained by the same method.
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Markham Roger G. ; Andrews John R. ; Kneezel Gary A., Method of making an ink jet printhead filter by laser ablation.
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Fujii, Kenji; Koyama, Shuji; Osumi, Masaki; Nagata, Shingo; Yamamuro, Jun; Tagawa, Yoshinori; Murayama, Hiroyuki; Urayama, Yoshinobu, Method of manufacturing ink jet recording head, ink jet cartridge.
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Fujii, Kenji; Koyama, Shuji; Osumi, Masaki; Nagata, Shingo; Yamamuro, Jun; Tagawa, Yoshinori; Murayama, Hiroyuki; Urayama, Yoshinobu, Method of manufacturing ink jet recording head, ink jet recording head, and ink jet cartridge.
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Herrmann Robert C. ; Landin Steven M., Micro and ultrafilters with controlled pore sizes and pore size distribution and methods for making.
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Bloom, David M.; Peterman, Mark C.; Ziebarth, Jonathan M., Microfabricated apertures for supporting bilayer lipid membranes.
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Vaeth, Kathleen M.; Brazas, John C.; Jeanmaire, David L., Printhead including port after filter.
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Komplin, Steven Robert; Murthy, Ashok; Sullivan, Carl Edmond, Process for making a heater chip module.
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A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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