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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0797877 (1991-11-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 0 |
The present invention includes a system for monitoring surface structures on a planar surface utilizing a radiation source emitting a beam. The planar surface has various surface structure types, including a plurality of grooves therein which intersect at various angles which are equal to or less th
A spatial filter for selectively filtering scattered radiation created as a result of a source radiation beam striking a planar surface having a plurality of grooves therein which intersect at various angles less than or equal to a predetermined maximum angle, said spatial filter comprising: a first
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