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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0754545 (1991-09-04) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 16 인용 특허 : 0 |
A stand-alone electropneumatic closed loop servo system, with a separate gas supply to an air actuated cylinder, provides pressure, position, or fluid flow control of a variable conductivity valve in a device by automatically varying the conductance of the device. The air cylinder defines a control
A pneumatic closed loop servo system for controlling a variable conductance valve in a process chamber having a predetermined operating condition, the system comprising: a controller means; an input source from the process chamber for providing a feedback signal to the controller means, the feedback
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