최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0864155 (1992-04-02) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 79 인용 특허 : 0 |
A fluxmeter which provides for a pneumatic apparatus for measuring an amount of plasma energy flux flowing into a semiconductor wafer provides for a non-electrical apparatus of measuring energy flux. A bulb has one end exposed to the plasma while the opposite end is supported by a heat sink. When pl
An apparatus for use in measuring plasma energy flux impinging upon a specimen disposed proximally adjacent to said apparatus comprising: a housing having an upper surface and an enclosed lateral wall of predetermined length and thickness with a hollow cavity disposed therein for holding a predeterm
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.