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[미국특허] Disc washing system 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B08B-003/02
출원번호 US-0628710 (1990-12-17)
발명자 / 주소
  • Nguyen Quy C. (Santa Clara County) Shah Sushil (Alameda County) Jacobs William (Santa Clara County) Shifman Steven A. (Contra Costa County) Kuhns William (Alameda County CA)
출원인 / 주소
  • Seagate Technology, Inc. (Scotts Valley CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 19  인용 특허 : 0

초록

An automated disc washing machine having, in sequence, a loading station for loading a disc into the disc washing machine, at least one cleaning station for cleaning a disc, and an unloading station for unloading a cleaned disc from the disc washing machine. The disc washing machine also has a pivot

대표청구항

An automated disc washing apparatus, comprising: in sequence, loading means including a loading station for loading a disc into said disc washing machine; at least one cleaning station for cleaning a disc; and unloading means including an unloading station for unloading said cleaned from said disc w

이 특허를 인용한 특허 (19) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Goudie Chad ; Natalicio John ; Olsen Greg ; Shurtliff Eric, Apparatus for rinsing wafers in the context of a combined cleaning rinsing and drying system.
  2. Crofton, Walter; Wypych, Andrew, Apparatus for simultaneous two-disk scrubbing and washing.
  3. Middendorf, Daniel O.; Slavik, Thomas R.; Johnson, James G.; Donovan, Dean A., Brush force control method for a substrate cleaning apparatus.
  4. Jose R. Gonzalez-Martin ; Chris Karlsrud, Cleaning station integral with polishing machine for semiconductor wafers.
  5. Jose R. Gonzalez-Martin ; Chris Karlsrud ; Robert Allen ; Toby Jordan ; Craig Howard ; Arthur Hamer ; Jeff Cunnane ; Periya Gopalan ; Bill Thornton ; Jon MacErnie ; Fernando Calderon, Combined CMP and wafer cleaning apparatus and associated methods.
  6. Liu, Youmin; Ligutom, Rito; Pompliano, Kennith; Bui, Young; Hou, Jennifer; Tuman, James, High efficiency and high throughput cascade scrub wash machine for rigid magnetic recording media.
  7. Gonzalez-Martin Jose R. ; Karlsrud Chris ; Allen Robert ; Jordan Toby ; Howard Craig ; Hamer Arthur ; Cunnane Jeff ; Gopalan Periya ; Thornton Bill ; MacErnie Jon ; Calderon Fernando, Integral machine for polishing, cleaning, rinsing and drying workpieces.
  8. Gonzalez-Martin, Jose R.; Karlsrud, Chris, Load and unload station for semiconductor wafers.
  9. Jose R. Gonzalez-Martin ; Chris Karlsrud ; Robert Allen ; Toby Jordan ; Craig Howard ; Arthur Hamer ; Jeff Cunnane ; Periya Gopalan ; Bill Thornton ; Jon MacErnie ; Fernando Calderon, Mapping system for semiconductor wafer cassettes.
  10. Kunze-Concewitz Horst,DEX, Method of cleaning surfaces with water and steam.
  11. Peterson Glenn E. ; Shurtliff Eric, Methods and apparatus for cleaning and drying wafers.
  12. Gifford, Jeffrey P.; Sherwood, Edward, Pod swapping internal to tool run time.
  13. Gonzalez-Martin Jose R. ; Karlsrud Chris, Robot assisted method of polishing, cleaning and drying workpieces.
  14. Gonzalez-Martin, Jose R.; Karlsrud, Chris, Robotic method of transferring workpieces to and from workstations.
  15. Kim, Hyun Jong; Kim, Ju Won; Cho, Jung Keun, Spin head and substrate treating method using the same.
  16. Daniel O. Middendorf ; Thomas R. Slavik ; James G. Johnson ; Dean A. Donovan, Substrate cleaning apparatus with brush force control and method.
  17. Goodman, Daniel; Keigler, Arthur; Guarnaccia, David G., Substrate holder.
  18. Goodman, Daniel; Keigler, Arthur; Fisher, Freeman, Substrate loader and unloader.
  19. Terui Yoshinobu,JPX, Work carrier assembly.

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