[특허]Vented vacuum semiconductor wafer cassette

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H05K-001/00
출원번호	US-0885109 (1992-05-18)
발명자 / 주소	Foster Leonard W. (Richardson TX) Millis Edwin G. (Dallas TX)
출원인 / 주소	Texas Instruments Incorporated (Dallas TX 02)
인용정보	피인용 횟수 : 31 인용 특허 : 0

초록

A vacuum storage cassette for semiconductor wafers has one or more valves to allow the cassette to be evacuated, backfilled, and opened to the surround atmosphere and resealed without the need for a vacuum load-lock chamber.

대표청구항 ▼

A semiconductor wafer storage cassette, comprising: a plurality of walls defining a chamber for holding semiconductor wafers, said plurality of walls having a first opening and a second opening into said chamber; a first channel connecting said first opening with the outside of the cassette; a second channel connecting said second opening with the outside of the cassette; a first valve in said first channel; a second valve in said second channel; a first baffle within said chamber, said first baffle adjacent and substantially perpendicular to said first opening, said first baffle located below the semiconductor wafers and extending from one of said plurality of walls; and a second baffle within said chamber, said second baffle adjacent said second opening, said second baffle having a first portion surrounding at least some of the semiconductor wafers and extending above the semiconductor wafers.

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A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
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