[특허]Driving mechanism with gas bearing

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	F15B-011/08 F01B-031/10 F16C-032/06
출원번호	US-0888277 (1992-05-26)
우선권정보	JP-0262853 (1986-11-06); JP-0191949 (1987-07-30)
발명자 / 주소	Furukawa Motomu (Kawasaki JPX)
출원인 / 주소	Canon Kabushiki Kaisha (Tokyo JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 22 인용 특허 : 0

초록 ▼

A driving mechanism usable in an electron beam exposure apparatus, X-ray exposure apparatus, ion beam exposure apparatus, evaporation apparatus, chemical vapor deposition apparatus or otherwise, for rectilinearly moving a wafer carrying stage in a vacuum chamber is disclosed. The mechanism includes a guide shaft, a partition flange fixed to the guide shaft, a pair of bearing assemblies slidably mounted to the guide shaft and disposed on the opposite sides of the flange, a coupling barrel for coupling the paired bearing assemblies and covering the guide shaft portion between the bearing assemblies, and a fluid supplying system for supplying fluids to the opposite sides of the partition flange. With this structure, the stage can be moved rectilinearly by controlling the fluid pressures on the opposite sides of the flange, while retaining high vacuum in the vacuum chamber.

대표청구항 ▼

A driving mechanism, comprising: a rod-like member having a flange; a cylindrical member for accommodating therein said rod-like member, said cylindrical member defining an interior space divided by said flange into two substantially independent spaces, wherein a clearance is defined between said cylindrical member and said flange; a gas bearing for discharging air and supporting without contact said cylindrical member and said rod-like member relative to each other; a bearing housing connected to said cylindrical member and accommodating therein said gas bearing, said bearing housing having gas reservoirs defined at opposite ends of said gas bearing and in communication with the outside of said bearing housing through passageways, said bearing housing further including a plurality of interior partition walls provided at an opposite side of said gas bearing from said cylindrical member and having a clearance between said rod-like member, wherein adjacent partition walls define an interspace therebetween into which a vacuum is applied; and driving means for moving one of said cylindrical member and said rod-like member relative to the other, said driving means supplying a driving gas to the interior space of said cylindrical member.

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Bisschops, Theodorus H. J.; Soemers, Hermanus M. J. R.; Vijfvinkel, Jakob; Driessen, Johannes C.; Renkens, Michael J. M.; Bouwer, Adrianus G., Movable support in a vacuum chamber and its application in lithographic projection apparatuses.
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Sai,Choshoku; Akutsu,Kotaro, Static gas bearing system, stage mechanism, exposure apparatus, and device manufacturing method.
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Takuma Tsuda JP; Shinji Shinohara JP; Shinobu Tokushima JP; Yukiharu Okubo JP; Toshimasa Shimoda JP; Douglas C. Watson ; W. Thomas Novak, Static pressure air bearing.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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