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[미국특허] Supply pressure compensated fluid pressure regulator and method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G05D-016/02
출원번호 US-0898337 (1992-06-15)
발명자 / 주소
  • Ollivier Louis A. (Palo Alto CA)
출원인 / 주소
  • Veriflo Corporation (Richmond CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 15  인용 특허 : 0

초록

A fluid pressure regulator and method of regulating high pressure fluid from a container such as high pressure gas cylinder, compensate for variation in the supply pressure to the regulator to limit variation in the outlet pressure of the regulator due to supply pressure variations. A flexible valve

대표청구항

In the method of regulating the fluid pressure dispensed from a container of pressurized fluid, such as a high pressure gas cylinder, using a fluid pressure regulator having a fluid passage for the flow of pressurized fluid, a valve movably positioned in the regulator for adjustably throttling the f

이 특허를 인용한 특허 (15) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Wang,Luping; Baum,Thomas H.; Xu,Chongying, Delivery systems for efficient vaporization of precursor source material.
  2. Elkovitch, Mark; Ting, Sai-Pei; Gallucci, Robert Russell, Flame retardant polyamide composition, method, and article.
  3. Louis A. Ollivier, Flow control of process gas in semiconductor manufacturing.
  4. Louis A. Ollivier, Flow control of process gas in semiconductor manufacturing.
  5. Louis A. Ollivier, Fluid pressure regulator with differential pressure setting control.
  6. Wang Luping ; Tom Glenn M., Fluid storage and dispensing system.
  7. Wang Luping ; Tom Glenn M., Fluid storage and dispensing system.
  8. Luping Wang ; Glenn M. Tom ; James A Dietz ; Steven M. Lurcott ; Steven J. Hultquist, Fluid storage and dispensing system featuring externally adjustable regulator assembly for high flow dispensing.
  9. Luping Wang ; Glenn M. Tom ; James A. Dietz ; Steven M. Lurcott ; Steven J. Hultquist, Fluid storage and dispensing system featuring externally adjustable regulator assembly for high flow dispensing.
  10. Luping Wang ; Glenn M. Tom, Gas storage and dispensing system comprising regulator interiorly disposed in fluid containment vessel and adjustable in situ therein.
  11. Larsen, Todd W.; Thomas, David L.; Neumann, Eric W., High-pressure regulator.
  12. Arno, Jose; Wang, Luping; Tom, Glenn M., Non-plasma in-situ cleaning of processing chambers using static flow methods.
  13. Carrillo, Alvaro; Guo, Hua, Poly(arylene ether)-polysiloxane composition and method.
  14. Shigeoka, Norihiko; Mizuta, Tametoshi, Pressure reducing valve.
  15. Olander, W. Karl; Donatucci, Matthew B.; Wang, Luping; Wodjenski, Michael J., Pressure-based gas delivery system and method for reducing risks associated with storage and delivery of high pressure gases.

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