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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0869816 (1992-04-16) |
우선권정보 | JP-0128670 (1991-04-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 0 |
The invention provides a device which utilizes the tunnel effect occuring upon a condition of geometric total reflection, for measuring a narrow gap and surface unevenness of a specimen with high precision. An optical device 40 includes a semi-conductor laser 42, a photodiode 43, and a waveguide lay
A device for measuring a gap between a surface of a specimen and a specific member, comprising: a substrate; a laser source mounted on said substrate for emitting a laser beam having a wavelength; an optical waveguide, having a reflecting surface comprising said specific member, for reflecting said
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